技术参数:
长度标准: 高精度线性编码器
导引系统: 气浮轴承
最大驱动速度: 520mm/sec
最大加速度: 0.17G
气压: 0.4MPa
空气消耗量: 50L/min (500 系列)
60L/min (700, 900 系列)
100L/min (1200 系列)
150L/min (1600, 2000 系列)

可确保精度的温度环境*
温度范围          18° C - 22°    C 16° C - 26° C
温度变化每小时 2.0K             2.0K
每24 小时         2.0K             5.0K
温度梯度垂直    1.0K/m         1.0K/m
水平1.0K/m 1.0K/m
* 当使用温度补偿系统时